研究機器

電界放出型透過型電子顕微鏡（FE-TEM）

・FEI製 Tecnai G2F30

透過型電子顕微鏡（TEM）

・日本電子製 JEM-2100 plus

電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

・日立ハイテク製 S-5500

電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

・日立ハイテク製 SU8230

電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

・日立ハイテク製 SU5000

卓上型走査型電子顕微鏡（SEM）

・ヴェールミー製 Tiny SEM M3-i

デジタルマイクロスコープ

・キーエンス製 VHX-2000

集束イオンビーム加工装置（FIB）

・日立ハイテクノロジーズ製 FB-2200

3D解析ホルダ

・日立ハイテク製

TEM（日本電子）用微小負荷装置

・Nanofactory Instruments AB製 TEM-nanoindenter

TEM（FEI）用微小負荷装置

・Nanofactory Instruments AB製 TEM-nanoindenter

TEM（日本電子）用微小負荷装置

・Nanofactory Instruments AB製 AFM-TEM holder

TEM（FEI）用負荷試験装置

・メルビル製

TEM用引張圧縮負荷試験ホルダ

・ユニソク製

Arイオンミリング装置

・日立ハイテクノロジーズ製 Gentle mill-Hi
　（Linda社 Gentle mill）

Arイオンミリング装置

・日立ハイテク製 Gentle mill-Hi

動的斜め蒸着装置

・エイコー製

超高真空炉

・エイコー製

恒温恒湿炉

・ヤマト科学製 IW222

SEM用引張圧縮繰り返し負荷試験機

・ユニソク製

SEM用通電式押し込み試験機

・ユニソク製

SEM用薄膜引張試験機

・ユニソク製

SEM用微小負荷試験装置

・Hysitron製 PI85

マイクロマニピュレータ

・Kleindiek製 Micromanipulator

温度制御四点曲げ疲労試験装置

・ユニソク製

卓上型ワイヤボンダ

・TPTジャパン製 HB05

卓上型引張圧縮試験機

・エー・アンド・デイ製 MCT-2150

スパッタ装置

・Eikエイコー製 IB-3

半導体パラメータ・アナライザ

・テクトロニクス製 4200A-SCS

３Dプリンタ

・キーエンス製 AGILISTA

真空炉

・ULVAC製 MILA-3000

共振振動疲労試験装置

・レーザードップラー変位計：
　小野測器製 LV-1720
・ファンクションジェネレータ：
　NF回路設計製 DF1906
・オシロスコープ：
　GW INSTEK製 GDS-1022
・制御プログラム：
　National Instruments製 LabView